| 型號 | 主機外廓尺寸 | 被測工件最大尺寸 | 光柵尺 | 最大3D速度 | 最大3D速度 | 溫度傳感器 | 被測工件最大重量 | 重復性（μm） | 示值誤差MPEE(μm) | 示值誤差MPEE(μm) | 示值誤差MPEE(μm) | 探測誤差MPEE(μm) |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| MODEL | OVERALL SIZE | PART SIZE | SCALE | 3D Max Speed | 3D Max Accelerate Speed | Temperature sensor | PART WEIGHT | REPEATABLE ACCURACY | 18℃-22℃ | 16℃-26℃ | 15℃-30℃ | |
| S | LX：1273mm LY：1505mm LZ：2470mm | 500mm×700mm×500mm | 一端固定，另一端自由伸縮 | 500mm/s | 800mm/S² | 工件傳感器 | 500KG | 1.5 | 3.0+3L/1000 | 3.0+L/250 | 3.0+L/200 | 3.0 |
| P | 1 | 2.5+3L/1000 | 2.5+3.3L/1000 | 2.5+L/250 | 2.6 |
